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机台基本规格:

设备尺寸

2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H)

真空室尺寸

850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按产能订制)

垂直 / 水平 - 极板

根据产品尺寸和产能要求 制定

电极板

标准:610mm*1100mm

RF 等离子发生器 & 网络匹配

额定功率:0-10KW(AE)

过程温度控制

30-150℃恒定可控

气体流量控制器,扩展至 5 路气体

0-1000ml/min-0-5000ml/min(   美国 MKS/ SEVEN STAR)

真空测量

0-10   TORR( 美国或日本)

人机界面触摸屏

可根据中国区客户实际需求,中文界面

信号指示灯

3 色带警报

真空发生系统

干泵机组(台湾 HanBell 干式真空机组,PS902 螺杆机组)

* 设备设计及规格可进行调整,以便提高设备性能。


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